技术编号：37272294
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及单晶炉，特别是涉及一种热场涂层的制备方法、热场及单晶炉。背景技术、单晶炉的热场包括加热器、导流筒、坩埚等部件，热场的外表面可以设置有涂层。一方面，涂层能够达到降低功率的目的。另一方面，涂层能够延长热场的使用寿命，降低生产成本。然而在现有技术中，热场涂层通常由于其制备方法不当或者涂层物质较多，而存在有涂层易脱落、涂层起不到应有的效果或者涂层的制备成本较高等问题。技术实现思路、基于此，本申请提供一种热场涂层的制备方法、热场及单晶炉，以改善现有技术中热场涂层的制备方法不当或者涂层物质较多...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。