技术编号：37296236
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种mem(micro electro mechanical：微电子机械)器件，特别是涉及一种具备缓冲块的mems(micro electro mechanical systems：微电子机械系统)器件。背景技术、在使用了mems构造的加速度传感器中，形成包含电容元件的检测部，且所述电容元件将设置于衬底的固定电极与设置于质量块的可动电极对向配置。在施加了加速度的情况下，通过可动电极相对于固定电极相对移动，测定这时的电容元件的电容变化来检测加速度。由于有对加速度传感器施加加速度，可动电...
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