技术编号:37300338
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制造,尤其涉及一种循环液换热箱、半导体温控系统及控制方法。背景技术、在半导体生产制造的刻蚀工艺中,需要专用温控设备通过循环管路输送载冷剂进行冷却控温,并提供一个精确的工作温度。当载冷剂是电子氟化液时,容易和板式换热器的铜发生化学反应析出铜离子,对刻蚀工艺产生影响。、现有技术中,将铜焊接板式换热器制作成全不锈钢板式换热器,此方式的制作成本高,加工难度大,耐压接近系统运行压力,使用有一定的局限性,并且对于有较大换热温差的系统,容易因受热形变而产生泄漏问题,影响系统稳定性,同时也造...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。