一种嵌入式3D堆叠封装结构及其制造方法与流程技术资料下载

技术编号:37306099

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本发明涉及半导体封装,具体地说是一种嵌入式d堆叠封装结构及其制造方法。背景技术、目前,传统的mems压力感应芯片封装还是将芯片通过直接贴装在基板(pcb,printed circuit board)的表面上实现电性能连接。基板作为芯片封装的核心材料之一,为了应对电子设备朝着小型化和功能化的方向发展,基板中的设计会越来越复杂,而且层数也会随之增加,导致基板的厚度增加,影响了总体的封装厚度。此外,现有的mems压力传感器封装形式主要以d平铺为主,也会增加封装体的横向面积。技术实现思路、本发明...
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