技术编号:37307448
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本技术涉及电池加工领域,具体而言,特别是涉及一种激光掺杂装置。背景技术、激光掺杂装置是一种在硅片生产过程中用来做选择性重掺,以提高硅片光电转换效率的专用激光设备。现有的激光掺杂装置通常采用绿光脉冲激光器,而对于新的topcon电池掺杂来说,硼元素在硅的固溶度低于磷,掺杂需要的能量高,扩散时间长,由于绿光超快激光器单点能量小,作用时间短,峰值功率高,掺杂过程中出现电池表面绒面易损伤且重掺杂区域浓度无法达标,从而无法满足掺杂要求。技术实现思路、有鉴于此,本实用新型提供一种采用红外连续激光对光伏电...
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