技术编号:37310995
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及机器视觉缺陷检测,特别涉及一种硅片崩边视觉检测方法及装置。背景技术、随着半导体和光伏行业的迅猛发展,设备对硅片的质量要求越来越高,而硅片侧面的崩边是硅片最主要的质量缺陷之一。传统的侧面崩边检测方法采用人工肉眼识别检测,存在较大的不稳定性与不可靠性,人眼对于细微的缺陷,灰度色差不明显的缺陷的检测能力有限,很难实现精准的全面检测。由于以上人工肉眼检测的不足,如何提高硅片侧面崩边的检测精度成了本领域技术人员急需解决的技术问题。技术实现思路、有鉴于此,本发明提供一种硅片崩边视觉检测方法及装...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
请注意,此类技术没有源代码,用于学习研究技术思路。