存储器件的制作方法技术资料下载

技术编号:37332972

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实施方式涉及存储器件。背景技术、作为能够非易失性地存储数据的存储器件,已知有nand闪速存储器。在该nand闪速存储器那样的存储器件中,为了高集成化、大容量化而采用三维的存储器构造。技术实现思路、一个实施方式提高存储器件的可靠性。、实施方式的存储器件具备在第一方向上相互分离地排列的多个绝缘体层、隔着上述多个绝缘体层在上述第一方向上相互分离地排列的多个导电体层、以及以与上述多个导电体层相交的方式沿上述第一方向延伸的存储柱。上述多个导电体层包含第一导电体层,其具有在与上述存储柱的边界处沿上述第...
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