技术编号：37339523
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及传感器领域，特别涉及一种悬臂结构制作方法、传感器制作方法及传感器。背景技术、mems（全称micro-electro-mechanical system，微机电系统）也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。微机电系统主要包括传感器、作动器和微能源三大部分。微机电系统是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术，是一项关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术，它是以半导体制造技术为基础发展起来的。、目前，mems技...
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