技术编号：3734077
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及研磨抛光领域，具体涉及一种性能均一、制造成本低廉的抛光 膜及其制备方法。技术背景近年来，随着信息技术、光学技术的发展，对硬脆性材料，如硅片，光学 玻璃，各种音像数据记录的磁盘、磁带、磁头、光纤联接器、光纤耦合器、光 纤终止器、单晶硅片以及其他精密硬质器件等的质量、精度都提出了很高的要 求。如果其表面有凸凹、划伤或者附着异物，所设计的精度及性能将得不到保 证。所以，最终的表面抛光是左右精密器件性能的关键步骤。对于这些材料的 表面抛光，目前普遍使用的...
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