技术编号：37341783
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及太阳能电池片生产设备，尤其涉及一种载片舟及镀膜设备。背景技术、在半导体和太阳能电池的制造设备中，扩散设备、氧化设备以及镀膜设备等均需要用到石墨舟，以承载硅片等片状材料，便于片状材料的镀膜。在传统石墨舟中，一般在舟板上凸出设置多个石墨卡点，用以对硅片进行支撑卡装和定位。、但是，随着太阳能电池的发展，硅片的厚度越来越薄，上述利用石墨卡点进行硅片定位的方式会导致硅片出现翘片和烧焦的问题。、因此，亟需一种载片舟及镀膜设备，以解决以上问题。技术实现思路、根据本发明的一个方面，目的在于提供...
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