技术编号:3734948
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体基板加工用粘合片,更加详细地,涉及包括基材和含 有特定成分的粘合剂层的半导体基板加工用粘合片。背景技术以往,将半导体晶片和/或基板进行切割(dicing)、扩展(expanding),然 后拾取(pick up)半导体晶片和/或基板,同时进行安装(mounting),此时,为 了固定半导体晶片和/或基板,使用半导体晶片和/或基板加工用片。对于这样的片而言,在对紫外线和/或放射线具有透过性的基材上,涂合剂层照射紫外线和/或放射线,使粘合剂层发...
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