技术编号:37351768
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及传感器,尤其涉及一种mems工艺的nox基气体传感器测试方法。背景技术、金属氧化物半导体薄膜气体传感器具有灵敏度高、响应速度快等优点,已被广泛应用于工业安全、生物医疗、智慧城市等领域。而随着后摩尔时代的到来以及“morethanmoore”思路的提出,面向全方位智能传感的新型智能传感器成为重要的发展方向,作为智能传感器的重要组成部分,气体传感器将向小型化、低功耗、集成化方向进一步发展。、传统的气体传感器往往使用基于化学反应的方法来检测气体浓度,但这种方法存在灵敏度低、响应时间长、成...
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