技术编号：37352869
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的领域涉及入口喷嘴组件、消减设备和方法。背景技术、诸如辐射燃烧器或其它类型的消减设备的消减设备是已知的，并且典型地用于处理来自例如在半导体或平板显示器制造业中使用的制造加工工具的流出气体物流。在这样的制造期间，残留的全氟化合物(pfc)和其它化合物存在于从加工工具泵出的流出气体物流中。pfc难以从流出气体中移除，并且它们向环境中的释放是不期望的，因为已知它们具有相对较高的温室活性。、已知的辐射燃烧器利用燃烧从流出气体物流中移除pfc和其它化合物，诸如在ep中描述的那样。典...
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