技术编号:37354911
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及根据权利要求的工艺挡板结构(process shutter arrangement)、根据权利要求的挡板片、根据权利要求的挡板臂、根据权利要求的真空工艺系统以及根据权利要求的使用工艺挡板结构的方法。背景技术、工艺挡板结构包括:挡板片,也称为挡片(dummy disc,或为“假片”),因为其替换通常在卡盘上被处理的晶圆;以及挡板臂,以便使该片从工艺室的适当位置(niche)或单独隔室朝向基座或卡盘(在工艺期间承载晶圆或其它基底)旋转,工艺挡板结构广泛用在用于半导体和光...
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