技术编号：37360032
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及超精密修调加工，具体而言，涉及一种基于白光干涉仪和机床测头的半球谐振子离子束修调对刀装置与方法。背景技术、半球谐振陀螺(hemispherical resonator gyroscope，简称hrg)具有精度高、体积小、质量低，结构简单、工作稳定，可靠性高等特点，是一种极具潜力的哥氏振动陀螺。hrg主要由激励罩、半球谐振子和读出基座构成。其中的半球谐振子是一种半球形薄壳零件、硬度高、脆性大，在加工过程中难以保证良好的质量均匀性，造成频率裂解，其品质因数也受到各种因素制约，因此可对超精...
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