技术编号:37360807
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本技术属于槽罐清洗装置,具体涉及一种电子级酸槽罐清洗装置。背景技术、电子级氢氟酸是半导体制造中常用的一种重要化学物质,主要应用于大型集成电路,作为清洗剂和腐蚀剂。电子级氢氟酸属于超净高纯试剂,电子级氢氟酸是芯片制造工艺中用量大的湿电子化学品,在大规模集成电路、led 显示器、平板显示器、晶体硅太阳能等微电子工业有着广泛应用。特别是在硅圆片在加工过程中,不溶性固体颗粒或金属离子会使电路短路,电子级氢氟酸能够有效除去晶圆上的杂质,因此用于运输电子级氢氟酸的容器则至关重要。、电子级氢氟酸常用槽罐车...
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