技术编号:37361891
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及硅棒检测,具体涉及一种硅棒孪晶检测方法及检测系统。背景技术、孪晶是硅棒最主要的内部缺陷之一,硅棒存在孪晶缺陷的区域无法继续后段工艺,只能进行截断回收。硅棒的外表面具有沿硅棒的轴向延伸的晶线,晶线有无断线是硅棒有无孪晶缺陷的外部特征信息,相关技术中通过硅棒上晶线的断线位置来确定孪晶缺陷的位置,然而上述方法无法精确确定孪晶缺陷的种类,因此在后续划线裁切工序中无法精确确定孪晶缺陷的长度,导致将硅棒上的孪晶缺陷段裁切的过长或过短,不仅会增加返切工序,还会导致硅棒材料的浪费。技术实现思路、本...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。