技术编号：37365369
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及驱动多个泵部件以连续地喷出液体的液体供给装置。背景技术、为了在液晶显示基板的表面涂敷光致抗蚀液等液体而使用液体供给装置。液体供给装置根据组装的部件分为活塞类、波纹管类以及管膜类等。活塞类是具有在缸室中往复运动的活塞，通过活塞使由缸室和活塞划分出的泵室膨胀收缩的类型。波纹管类是具有收容于泵块内并伸缩的波纹管，通过波纹管使由泵块和波纹管划分出的泵室膨胀收缩的类型。管膜类是具有在内侧形成有泵室的管膜，通过向外侧的驱动室供排间接介质而使泵室膨胀收缩的类型。、在专利文献中记载了活塞类和管膜...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。