技术编号:37374596
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及基板处理装置及方法,并且更具体地,涉及即使在基板变形时也能够控制夹具稳定地吸附基板的基板处理装置及方法。背景技术、通常,现有的基板处理装置通过在利用悬浮台使基板悬浮以保护基板的下表面的同时向基板的上表面上喷射处理液来执行印刷工艺,这种基板处理装置在基板安置在升降销上时,通过经由悬浮台的发射孔发射气体来使基板悬浮,通过使用基板对准器来对准基板,通过使用夹具来吸附基板的至少一部分,然后在基板的其他部分悬浮时传送或印刷基板。、然而,根据现有的基板处理装置,当基板变形时,尽管由夹具形成真空...
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