技术编号:3739939
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及粉体切磨料,特别是一种材料精密多线切割和研磨加工中所使用的起切削研磨作用的粉体切磨料。背景技术本发明涉及一种适用于电子材料的精密多线切割和研磨时添加于切割液中使用的起切削研磨作用的粉体磨料。在进行多线切割和研磨过程中一般使用切割液或者研磨液混合氧化铝或碳化硅等高硬度粉体(以下简称粉体)进行切割和研磨(以下合称切磨工艺),通常在切磨工艺中使用的粉体材料均为单一标称粒径和单一沙砾形状,在使用中往往不能同时取得材料去除速率、表面质量状况和晶片亚表面损伤...
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