技术编号:37419823
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种对半导体基板、液晶显示用或有机el(electroluminescence)显示装置等fpd(flat panel display)用基板、光掩模用玻璃基板、光盘用基板等各种基板进行预定的处理的基板处理装置。背景技术、以往,作为这种装置,有具备分批式模块、单片式模块的装置(例如参照专利文献)。分批式模块对多张基板一并进行预定的处理。单片式模块对每一张基板进行预定的处理。分批式模块、单片式模块分别具有固有的优点。具备分批式模块、单片式模块的基板处理装置通过具备双方的优点,实现了比...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。