技术编号:37427971
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及压电材料制备,尤其涉及一种磁控溅射用bnt靶材及利用热压法制备bnt靶材的方法。背景技术、压电材料作为一种功能材料,在机械能和电能的转换中起着重要的作用,尤其是薄膜压电材料具有能量转换效率高,适于微型化,与半导体集成电路工艺兼容等优点成为微传感器中广泛采用的材料。其中,铅基薄膜是一种优良的铁电薄膜材料,压电性能优异,已广泛地应用于电子、光、热、声学等领域。但是,铅的化合物及其蒸汽损害人体健康,污染环境,为此科学家们正在探索对环境友好,且对人体无害的新型无铅材料。不过,目前的无铅材料在...
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