技术编号：37429696
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电学测量，尤其涉及一种粒子束检测系统、方法、存储介质和电子设备。背景技术、扫描电镜的粒子枪可以发出具有蚀刻效果的粒子束，用于进行蚀刻作业。、为了确保进行蚀刻作业的离子束的状态符合预设的标准，通常在样品蚀刻前或取下样品后，可以将法拉第杯放到样品被蚀刻时所在摆放的位置，对粒子束进行检测，避免检测的时候不必要地蚀刻样品造成损坏。、蚀刻和检测时只能保证设定的粒子源的参数一致，但在实际上发射的粒子束由于受纯度、环境等不稳定因素的影响，其实际的状态并不总是与设置的参数一致。在此情况下，进行检...
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