技术编号：37437079
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及描绘系统及描绘方法。[相关申请的参照]本申请主张年月日申请的日本专利申请jp-的优先权的利益，将该申请的全部公开引入本申请。背景技术、近年来，在不使用掩模的情况下在印刷基板等基板上的感光材料上描绘图案的描绘装置(直接描绘装置)被实用化。在利用描绘装置的制造工序中，有时与其他工序同样地发生故障。该故障主要有两种，一种是由描绘装置自身的错误引起的动作的停止。另一种是在图案的描绘正常结束后发现的基板上的图案不良。、此外，在日本特开-号公...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。