技术编号:37437341
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微型加速度计结构,尤其涉及一种具有独立偏心质量结构的电容式z轴加速度计,属于半导体应用微结构领域。背景技术、电容式加速度计是利用外部加速度改变敏感质量的位移,进而转变为电容的变化量进行测量。加速度计可以检测来自三个轴的加速度。其中z轴结构设计形式一般为扭摆式电容加速度计,其结构中的敏感质量块在扭摆弹性梁两边不对称分布,形成偏心转矩。当有外界加速度输入时,敏感质量块绕着梁摆动,并与下方检测电容极板形成差分电容,根据电容变化量的大小获得加速度的大小。、目前常见的z轴加速度计结构为单...
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