弹性波器件的制作方法技术资料下载

技术编号:37466667

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本发明属于微电子器件领域,涉及一种弹性波器件。背景技术、移动终端实现通信的重要组成部分是射频前端模块,其中,带通滤波器是负责信号收发的核心器件,仅允许特定频率的信号通过。为满足通信系统和协议对信噪比的要求,滤波器件的通带平坦度、带内插入损耗、带边陡峭度、矩形度和带外抑制等性能都具有较高要求,且与日俱增。弹性波滤波器以其小尺寸、工艺简单等优势,在射频前端器件领域起着至关重要的作用。、对于目前的弹性波器件结构,由于叉指电极在横向方向的长度是有限的,在叉指末端存在“电极-空气”的边界面,此边界处声...
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