技术编号：37466965
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及单晶硅制造，尤其涉及一种双泵大氩气低炉压降氧的方法。背景技术、氧含量对单晶硅棒的机械性能、热稳定性、化学稳定性和加工性能都有一定程度的影响，是单晶硅棒品质好坏的重要指标。、现有技术通过降低埚转、管控引晶功率、增加保温性、安装降氧环、调整器盖距等措施来降低单晶硅棒中的氧含量，以上这些方法在降低单晶硅棒氧含量的同时，也会一定程度上影响成晶，或多或少地降低成晶率，而拉晶过程中加大氩气流量或降低炉压也是同样有效降低单晶硅棒氧含量的方法，但受干泵设备性能影响，这两种工艺无法同时满足。、目前...
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