一种预烤装置的制作方法技术资料下载

技术编号:3746895

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本实用新型涉及材料的预烤工艺,尤其涉及一种预烤装置。 背景技术在彩色滤光片(Color Filter)的制造工序中,需要将整面涂满光阻的基板进行预烤以去除光阻中的溶剂。为了使基板的温度保持在90士2°C,预烤一般采用热板(Hot Plate)模式,且预烤温度为70-120°C,预烤时间为70_120s。图1为现有技术中预烤装置的结构示意图,如图1所示,现有技术中的预烤装置具有腔体,该腔体由位于底部的热板1、四个侧板和上板3构成;其中,热板1上形成有顶柱(P...
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