技术编号:3746895
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及材料的预烤工艺,尤其涉及一种预烤装置。 背景技术在彩色滤光片(Color Filter)的制造工序中,需要将整面涂满光阻的基板进行预烤以去除光阻中的溶剂。为了使基板的温度保持在90士2°C,预烤一般采用热板(Hot Plate)模式,且预烤温度为70-120°C,预烤时间为70_120s。图1为现有技术中预烤装置的结构示意图,如图1所示,现有技术中的预烤装置具有腔体,该腔体由位于底部的热板1、四个侧板和上板3构成;其中,热板1上形成有顶柱(P...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。