技术编号：37469894
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本技术为提供一种使机械手臂兼具晶圆储存状态检测、碰撞感测、及寿命预测等功能的具震动侦测及影像辨识的机械手臂。背景技术、在取出晶圆之前，需要确认晶舟盒内装配的晶圆是否有缺漏、重叠、歪斜或翘曲等不良储存状态发生，以避免在取放过程损伤晶圆，因此，在整个晶舟盒的晶圆皆未被取出时会先进行晶舟盒内晶圆的储存状态的侦测作业，当有晶圆呈现不良配置状态时，则暂停取放以待使用者将错误状态解除。、另外，晶圆的制造过程具有多种不同步骤，而必须利用机械手臂将晶圆在不同设备间搬运，已知虽有针对机械手臂移动的精准度进行侦...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。