技术编号:37476875
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及气体成分测量,特别涉及一种声表面波气体传感器装置及其应用方法。背景技术、在测量气体组分过程中,面临几种环境,一是大气压环境的气体成分测量,另一种是真空或半真空环境测量,还有用于高压强环境的气体成分测量。高压强环境测量气体面临多个风险:第一是气压高测量时容易导致气体快速泄漏;第二是高压强容易引起设备安全隐患,如气体绝缘的高压电气设备,如发生气体泄漏和密封不当,可能引起设备故障或人身安全事故。、鉴于此,需要研究一种密封性好的声表面波气体传感器装置。技术实现思路、针对现有技术中的问题,...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。