技术编号:3750589
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种图案形成方法,具体地涉及一种用在制造电子、光学或光电器件以及包括用在这些器件中的相互连接及滤波器中的图案形成方法。本发明也涉及通过所述图案形成方法制造的器件。背景技术 传统上,利用平板印刷处理来制造微电子和微光电子器件。光刻法是这种处理的一个示例。最近,已经提出将半导体共轭聚合物(或有机物)薄膜晶体管(TFT)用在能够在塑料衬底上制造、相对低成本的逻辑电路中。这些器件同样可以用在光电器件中,以及用于高分辨率的有源矩阵显示器中的象素开关。通过适...
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