技术编号:37506947
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电容测量,具体涉及一种自补偿寄生电容的电桥电容测量电路、装置及方法。背景技术、随着科技的迅猛发展,各行各业对电容检测的精度、灵敏度、分辨率以及测量范围等提出了更高的要求,因此各国研究学者或计量测试部门纷纷投入了大量的精力和人力,旨在研究出一种测量范围广、精度高、分辨率高的电容检测电路;对于宏观系统,可以采用直接测量的方式估算出系统内部寄生电容的大小,但是对于mems器件而言,mems器件是在硅等半导体基底材料上制作而成的微小结构腔体,其寄生电容主要来源于功能电极到其相邻的微观结构和基...
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