技术编号:37507204
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本技术属于真空镀膜,尤其涉及一种真空镀膜反应气体脉动充气装置。背景技术、真空镀膜是指在真空环境下,将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到材料表面,形成导电膜的技术,真空镀膜机工作时:先抽真空,使真空室处于真空状态,再通过电子枪束流对真空室底部的镀膜材料进行加热;膜料在加热到一定的温度后,膜料分子会产生挥发,挥发出的膜料分子沉积在真空室顶部的产品表面形成薄膜。、现有授权公告号为cnu的专利,公开了一种玻璃镜片真空镀膜机用充气装置,该实用新型具有过滤充气时的气体,且清理滤网较...
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