技术编号：3750896
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种硅基微型侧喷口合成射流器，还涉及这种硅基微型侧喷口合成射流器的制作方法。背景技术合成射流器是流动控制领域中重要的器件之一，它采用压电、静电或电磁等驱动方式使其弹性膜片产生悬置振动，从而引起腔体体积的周期性变化，由此将外界气体不断地通过喷口吸入和排出空腔，在不需额外气源的情况下产生合成式射流，实现流场的主动控制。参照图9。文献“专利号为US 6，457，654的美国专利Micromachined synthetic jet actuators ...
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