技术编号：37510516
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及mems，包括但不限于mems驱动器和mems微镜，特别是涉及一种集成电容角度传感器的mems万向节器件及其制备方法。背景技术、mems万向节(gimbal，又名平衡环)器件是一种基于mems加工技术制作的微型、可驱动、两自由度的mems扭转结构的mems运动器件，既可以是mems执行器，也可以mems传感器，或执行器与传感器相融合的mems器件。万向节的两自由度扭转运动(x轴扭转、y轴扭转)是彼此独立的、无耦合的，是mems器件中广泛采用的多轴独立运动结构。mems万向节还可以进一...
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