技术编号：3751704
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的实施方式涉及，例如涉及在涂敷对象物上涂敷材料而形成涂敷膜的。背景技术在半导体等领域中，作为在基板上形成圆形状的膜的方法，有螺旋涂敷方法。该螺旋涂敷方法中，在圆形状的旋转工作台上固定圆盘状的基板，将涂敷喷嘴的喷出面与基板表面的距离(间隙)保持为规定的值，使该旋转工作台旋转，ー边用可控制流量的定量泵从涂敷喷嘴喷出材料，ー边使该涂敷喷嘴从基板中央向基板外周直线状移动，通过描绘螺旋 状(漩涡状)的涂敷轨跡来在基板的整个面上形成膜。基于螺旋涂敷的涂敷装置以及...
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