用于硼扩散的涂布液的制作方法技术资料下载

技术编号:3753356

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本发明涉及一种硼扩散涂布液,当希望在半导体衬底中形成扩散层时,其被施加到该半导体衬底;一种制造半导体器件的方法,该半导体器件典型地为太阳能电池;以及一种半导体器件,其典型地为太阳能电池。背景技术对于现有的产业化或商业化的太阳能电池制造来说,最重要的任务是降低制造费用。通常,广泛使用通过下面的步骤制造太阳能电池的方法。首先,提供η型硅衬底。使用直拉(CZ)法制备单晶硅锭,或者使用铸造法制备多晶硅锭。该锭由多线锯方法切分而获得η型硅衬底。然后,将衬底浸入碱性溶...
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