技术编号:37536730
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本技术涉及除尘设备,具体为一种用于洁净室除尘的慢充慢抽换气装置。背景技术、无尘加工制造对加工的环境有严格的洁净度要求,比如洁净度级要求环境中的尺寸大于.微米的颗粒数少于个/立方米,在对洁净室除尘时,传统的抽换气装置大多无法对气流流速进行控制,从而在一定程度上难以实现对微尘抽除数量较好的控制,降低了其实用性,为此我们提出了一种用于洁净室除尘的慢充慢抽换气装置,以解决上述背景技术中提出的问题。技术实现思路、本实用新型的目的在于提供一种用于洁净室除尘的慢充慢抽换气装置,以解决上述...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。