技术编号：37536899
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本技术涉及干泵，具体为一种气流走向导引装置。背景技术、干泵是指一种无润滑剂或润滑液的真空泵。干泵主要用于需要高真空度、无污染和无油蒸汽的应用领域，如半导体制造、光学薄膜沉积、热处理、电子显微镜等。、干泵气流走向导引装置是一种用于控制干泵系统中气流走向的装置。它通常由管道、阀门、风机等组成，干泵气流走向导引装置是一种用于控制干泵系统中气流走向的装置。它通常由管道、阀门、风机等组成。、现有的气流走向导引装置通常是，通过控制阀门和风机的运行来实现对气流走向的控制，该方式在操作的过程中，对于新手操...
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