技术编号:3753854
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种压电-气体混合控制型流体喷射装置,属于微电子机械领域。背景技术随着微电子工业、材料及控制等技术的发展成熟,近年来微机电系统有了飞速的发展。作为微机电系统的一个重要分支,微流动系统由于能精确检测和控制流量,在药物微量输送、燃料微量喷射、集成电子元件封装、冷却以及微量化学分析等方面有着重要的应用前景。发明专利“压电叠堆泵”(申请公布号CN 101216027A)提出了一种大流量、高输出压力的新型压电叠堆泵,其特征在于压电叠堆在外加激励的作用下...
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