技术编号：37543766
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本公开涉及半导体激光剥离的，具体而言，涉及一种微型发光结构的制备方法、掩膜结构及微型发光结构。背景技术、在micro led微显示模组制备过程中中，需要将蓝宝石衬底进行激光剥离。在激光剥离时(以下简称llo)，易造成电路损伤模组失效。而且llo后的氮化镓(gan)表面，存在表面镓(ga)残留影响模组出光部分。、有鉴于此，亟需提供一种微型发光结构的制备方法、掩膜结构及微型发光结构的技术方案，以便在激光剥离时保护驱动电路并添加出光。技术实现思路、为了解决背景技术中提到的一种或者多种技术问题，本...
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