技术编号:37544534
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明实施例涉及样品台调平,尤其涉及一种基于电镜景深的样品台调平方法、装置和扫描电镜系统。背景技术、扫描电镜的主要功能是观察样品表面微观形貌和分析样品元素或结构。扫描电镜需要通过物镜将发散的电子束聚焦并通过偏转模组将电子束偏转,使得焦点落于设置在样品台上的样品上,并在样品上扫描以获得扫描位点的图像。、大部分的扫描电镜的样品台仅具有三轴位移功能,为了使样品台的平面角度与扫描电镜电子束流发生及控制系统相匹配,在生产装配阶段需要反复调试,且仅具有三轴位移功能的扫描电镜在使用过程中对于样品的厚度均匀...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。