技术编号：37545131
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及光学检测，更具体地，涉及一种衍射光栅检测装置以及检测方法。背景技术、衍射光波导是一种基于光的衍射原理引导光束传播的介质装置。在现有技术中，衍射光波导一般采用衍射光栅实现光束在波导片内的耦入、折转和耦出。其中，光栅周期作为衍射光栅的重要硬件参数，决定了光束入射到衍射光栅后的衍射方向。此外，在衍射光波导对于光束的利用效率方面，衍射光栅的衍射效率起着较大的影响。、因此，对于衍射光波导而言，为了优化衍射光栅的硬件参数，进而得到较好的光学成像效果，需要对衍射光栅的光栅周期及衍射效率进行实际测...
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