技术编号:37549370
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及流量调节领域,尤其涉及一种调节流体流量的方法、装置、计算机系统与可存储介质。背景技术、在半导体集成电路加工过程中,一些加工工艺如清洗、刻蚀、氧化及还原等操作,都需要使用特定的化学品或气体。此类化学品或气体往往以流体的形式存在,通过管路输送到工艺腔体内,以使相应的加工工艺顺利进行。、在现有的流体控制系统中,往往采用人工调节机械阀门的方式调节流体的流量;工作人员通过流量计检测流体的流量和总量,结合以往的工作经验判断流体的大致情况,若流体的流量过大,则关紧机械阀门。此方法依赖于人工调节,...
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