技术编号:37552691
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体产品制造设备,尤其涉及一种去磷硅玻璃机的硅片上料装置。背景技术、硅片是太阳能电池片的基本原料之一,其在经过扩散工艺后表面会残留一层磷硅玻璃,磷硅玻璃必须去除以避免影响电池片的外观和电性能。磷硅玻璃的去除一般采用去磷硅玻璃机完成,去磷硅玻璃机通常设有十个及以上进料窗口,需多个硅片排成一排分别从多个进料窗口进入去磷硅玻璃机完成去磷硅玻璃工艺。、现有去磷硅玻璃机的硅片进料装置,如图所示,包括纵向输送组件、横向输送组件和顶升气缸,纵向输送组件与去磷硅玻璃机的...
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