技术编号：37575207
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本技术涉及微纳加工领域，具体涉及一种模板定位装置。背景技术、纳米压印技术是一种以纳米尺度级别的模板为基础的纳米结构制造技术，具体来说，是将通过电子束光刻、x射线光刻或极紫外光刻等技术刻写的模板结构，通过机械接触的方式，转移至基板上，转移的介质通常是一层很薄的压印胶，经加热后冷却或辐照等方法使压印胶固化，然后采用等离子刻蚀等工艺完成转移结构的复制。相对于传统的光刻技术，纳米压印技术结构尺度不受光波波长的限制，分辨率高；相对于电子束光刻、x射线光刻或极紫外光刻等技术，纳米压印技术的设备成本低、生产...
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