技术编号:37598336
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及纳米光子学领域,更具体地,涉及一种干法刻蚀工艺后范德华声子极化激元材料的清洗方法。背景技术、入射电磁场与极性晶体中光学声子发生能量交换或耦合时形成的一种集体振荡模式,被称为声子极化激元。声子极化激元能够将自由空间的光限制在远小于入射光波长的尺度下,具有较强的光场局域作用。与金属表面等离激元相比,声子极化激元具有更高的光场局域能力、较低的光学损耗,在光学探测与传感、热辐射控制和超分辨光学成像等领域具有较好的应用前景。范德华材料是指具有层层堆叠结构的材料,其中,单个原子层中的各原子通过共...
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