技术编号：3762228
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种给狭缝涂敷式(slit coat)涂敷装置提供涂敷液的涂敷液供给装置及伴随着该涂敷液供给装置的狭缝涂敷式涂敷装置。背景技术 众所周知，狭缝涂敷式涂敷装置能够在基板上以预定厚度涂敷预定量液体的例如抗蚀剂溶液等。传统的狭缝涂敷式涂敷装置具备与基板对向配置的具有狭缝状开口的涂敷头。从涂敷液供给装置提供预定量的涂敷液给涂敷头，在基板和涂敷头之中的任意一个相对于另一方按预定速度移动期间，从涂敷头的狭缝状开口处、在基板上以预定厚度涂敷预定量的涂敷液。相对...
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