技术编号：37625846
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本技术涉及光学仪器的辅助机构领域，具体涉及一种减振脚垫。背景技术、工业共聚焦显微镜作为高精密度、高附加值测量仪器，是测量表面形貌的有力工具，在材料科学和包括半导体电子行业在内的众多行业中发挥着重要作用。高精度的测量需求对仪器的避振效果提出了较高的要求，优良的避振脚垫能较小外界振动和仪器自身运行振动，从而提高设备性能。、然而，现有的共聚焦显微镜的脚垫结构都相对较硬，例如只在支脚位置安装一个橡胶垫进行缓冲，导致缓冲效果较差，进而降低的避振的效果。技术实现思路、本实用新型的目的在于提供一种减振脚...
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