技术编号：3762740
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及应用涂液的涂层方法与涂层设备，具体地涉及到在一基片的一平直表面上产生稳定的涂层的涂层方法与涂层设备，这种涂层方法与设备适用于电子工业领域，例如半导体生产中。本发明还涉及到以这种涂层方法为基础的滤色片的生产方法、由此制造出的滤色片、以及用来生产例如滤色片一类的片状涂层制品的方法，这类片状涂层制品则可用于液晶显示与固态摄像管、滤光片、印刷电路板、集成电路和其它半导体器件。背景技术 近年来，迫切需要通过对各种涂液进行薄而均匀的涂布来生产涂层，以在滤光片...
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